在韩国打造再制造厂 ASML海外建厂能否“四处开花”

近期，韩国在半导体领域的动作不小。先是韩国总统文在寅公开宣布韩国将斥资4500亿美元建设全球最大芯片制造基地，之后韩国又向全球光刻机龙头大厂阿斯麦(ASML)抛出了橄榄枝，请ASML在韩国建立再制造(Remanufacturing)工厂。日前，韩国有关部门对外宣布，ASML计划在韩国建设光刻设备再制造工厂及设备操作工程师培训中心，新厂预计在2025年建设完成。消息甫一传出，就引发了业内的广泛关注。ASML方面向《中国电子报》记者表示，该计划将在未来5年内逐步实施，主要是更好地支持当地客户和产业发展。

在韩国打造再制造厂

ASML是目前唯一一家能够生产出EUV光刻机的公司，它选择在韩国建厂其实早有预兆。2020年年底，三星电子副会长李在镕亲自飞赴ASML位于荷兰的总部进行拜访，意欲寻求更多EUV光刻机供货。在全球围绕先进制程的竞赛愈演愈烈之时，能否拥有功能运转良好的EUV光刻机就成为了制胜关键。

本次ASML在韩国建再制造厂的主要目标是进行系统零部件的维修和EUV collector(收集器)的清洗。公开信息显示，未来4年内，ASML计划在韩国投资2400亿韩元(约合13.7亿元人民币)，于京畿道华城市打造一座再制造厂以及一家培训中心，由京畿道政府对阿斯麦在当地的授权、扩张业务提供协助。据悉，该再制造厂的主要功能是进行系统零部件的维修和EUV collector的清洗。

芯谋研究总监王笑龙向《中国电子报》记者表示，ASML此举有助于更好地服务韩国当地产线。王笑龙告诉记者，这是存储器产线老旧设备的再升级。“ASML在韩国建厂，相当于把老旧设备都翻新了，生产技术也升级了。这样可以应对更新产品的生产制造。”王笑龙说，“设备都来自于原厂，升级、再制造之后设备还是返回给原厂，所以(在韩国建设再制造厂)更加方便。”

有专家认为，ASML在韩国建厂的计划有助于三星和SK海力士这两家企业继续稳固行业龙头地位，帮助其提高产能的利用率和市场占有率，也有利于韩国存储产业乃至整个半导体产业的发展。

除了光刻设备再制造工厂之外，ASML还将在韩国建立设备操作工程师培训中心。该中心的建立将为韩国诸多半导体公司带来福音，培养出更多熟悉EUV光刻设备的操作员。根据投资决策，ASML与韩国客户之间的业务关系也有望得到进一步加强。ASML方面向《中国电子报》记者表示，韩国客户存在相应需求，因此ASML选择就近建厂为其提供服务。ASML方面进一步表示，对于这一点，外界其实无需过度解读。

海外布局已有先例

ASML在韩国的建厂行为并不让人感到意外。事实上，在此次宣布于韩国建厂之前，ASML就已经针对半导体领域的重要国家和地区采取了行动，在海外的布局已有先例。从ASML海外布局的足迹来看，ASML似乎对亚洲情有独钟。为什么ASML如此看重亚洲?北京工业大学微电子学院教授冯士维向《中国电子报》记者表达了自己的看法。冯士维认为，ASML重视亚洲是因为目前IC Fab的主力在亚洲。“市场永远是第一位的。”在冯士维看来，亚洲有可能在半导体制造领域形成集聚效应。他表示，半导体制造领域的门槛较高，亚洲在此领域具备政策支持、市场等方面优势。

2020年8月，ASML宣布在中国台湾地区的南部科学园区建立荷兰之外的首个培训中心，旨在就近辅导台积电所领导的EUV光刻制造集群。

ASML对台积电的悉心辅导行为其实不难理解，因为台积电是ASML最大的客户。截至2020年年底，ASML的EUV光刻机总出货量突破100台，台积电就买了超过一半的EUV光刻机(具体数字ASML方面没有透露)，成为ASML的最大金主。

ASML针对中国台湾地区的布局还包括招聘新员工。今年以来，ASML计划在中国台湾地区招600名新员工，大幅增员2成以上，员工数量将达到3400人。据了解，新招募的这些员工主要服务于台积电和联电等半导体厂商。

ASML在中国大陆地区也展开了布局。2020年5月，ASML在无锡高新区举行了阿斯麦光刻设备技术服务(无锡)基地签约仪式。根据进一步了解，该基地主要涵盖两大业务板块，分别是：由技术中心提供光刻设备的维护、升级等技术服务;由供应链服务中心提供高效的供应链服务，为设备安装、升级及生产运营等所需的物料提供更高水准的物流支持。从具体规模来看，技术中心的面积约2000余平方米，专业团队规模近200人;供应链服务中心面积同样接近2000余平方米。一位不愿透露姓名的业内人士告诉记者，虽然该基地的业务板块没有直接涉及半导体制造领域，但是其提供的相关服务相当于解决了光刻机的售后问题，因此具有一定价值。“买来设备之后的安装、升级和生产运营等环节其实相当繁琐，要找到熟悉操作流程的技术人员并不容易。”该业内人士说。

现阶段，先进芯片制造能力已经成为各地半导体产业竞争与角逐的焦点。此前，19个欧盟成员国签署了一项联合声明，旨在在欧洲建设2nm晶圆厂，以“加强欧洲开发下一代处理器和半导体的能力”。美国方面也多次提到“先进制程”这一关键词，台积电、三星接连传出计划在美建设代工厂的消息，而且采用的还是3nm、5nm这样的先进工艺。在世界各国不断追求先进工艺制程的大背景下，EUV光刻机的使用是其中绕不开的重要环节。作为唯一一家有能力生产出高端EUV光刻机的公司，ASML无疑是半导体市场中的“香饽饽”。由ASML建造的海外工厂能否“四处开花”?虽然目前还没有传出ASML在海外建设更多工厂的消息，但半导体业界对此拭目以待。(记者 张依依)